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【科技日報】全球最大納米科技實驗裝置向用戶開放

2019-10-25 科技日報 劉園園
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  10月22日至24日,第五屆二維材料國際會議在蘇州舉行。科技日報記者在會議期間了解到,坐落在蘇州市工業園區的納米科技真空互聯綜合實驗裝置(NANO-X)已開始面向國內外用戶開放。

  據介紹,這是我國首個基于真空互聯技術的納米科技大型實驗裝置,也是目前全球范圍內規模最大的納米科技實驗裝置。

  NANO-X由中科院、江蘇省、蘇州市、蘇州工業園區四方投資共建,由中科院蘇州納米所承建。該裝置集材料生長、器件加工、測試分析為一體,首期投入3.2億人民幣,二期計劃投入3.68億人民幣。

  今年6月,NANO-X完成一期項目(小型驗證裝置)總驗收。NANO-X一期可初步實現納米材料表面或界面調控,突破異質材料集成難題。NANO-X二期目前正在建設中,建成后將在一期基礎上進一步提升,例如將開展低維量子材料與器件的研發,探索超導量子比特的全新制備工藝等。

  NANO-X的最大亮點是實現多個納米科技實驗平臺的真空互聯。

  “材料的尺寸越小,它們的表面效應或量子效應就越明顯。比如,納米級光電器件在制備過程中的某些工藝環節一旦暴露在空氣中后,可能會對材料性能產生很大影響。” 中科院蘇州納米所副研究員李坊森說。

  李坊森介紹,以往國內進行納米科技研究的平臺小而分散。納米材料在某個平臺上生長出來后,需要從真空中取出,到另一個平臺進行測試分析,取出過程可能使納米材料特性受損。

  NANO-X正是為了解決納米科技研發中的這些關鍵共性難題而建設的。李坊森告訴科技日報記者,一方面,NANO-X通過設備的真空互聯為“敏感”的納米材料提供了必要的真空保護;另一方面,它將材料生長、器件加工、測試分析等納米科技研發的全鏈條銜接在一個平臺上,有利于保證納米材料特性的穩定,從而提升納米器件的性能。

  “目前,NANO-X一期已面向全球用戶開放。希望在NANO-X上進行納米技術研發的團隊可在網上提出申請。” 李坊森介紹,目前提出申請的用戶不僅有高校科研院所的研究團隊,還有納米科技領域的企業等。

  (原載于《科技日報》 2019-10-25 04版)

打印 責任編輯:侯茜

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